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動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀的組成及工作原理介紹

2020.12.29

1、動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀的組成

動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀通常由控制模塊、質(zhì)量流量控制器、電磁閥驅動(dòng)模塊（可選）、電源模塊、通信模塊、顯示模塊組成。其中工控機控制模塊是裝置的，質(zhì)量流量控制器（MFC）是裝置的核心部件，其性能直接決定了整個(gè)系統輸出氣體的準確性和穩定性，每個(gè)MFC前面裝有一個(gè)電磁閥，起到開(kāi)關(guān)和保護的作用，人機界面采用觸摸顯示屏作為顯示和輸入的途徑，工控主板和其它模塊使用串口通訊。

2、動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀的工作原理

該裝置以流量比混合法為基本原理，通過(guò)嚴格控制一定比例的標準氣體和稀釋氣體的流量，并加以混合而制得目標濃度的氣體。

兩路氣源輸出的氣體經(jīng)過(guò)減壓閥減壓進(jìn)入質(zhì)量流量控制器，各路質(zhì)量流量控制器根據控制模塊設定的濃度值控制氣體的流量，氣體流量的不同決定混合后產(chǎn)生的混合氣體的濃度也不同，從而達到配制目標氣體濃度的目的。

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